¹¹B 농축도 ≥99.9%, 순도 ≥99.999%의 농축 삼불화붕소-11(¹¹BF₃), CAS 번호 20654-88-0

¹¹B 농축도 ≥99.9%, 순도 ≥99.999%의 농축 삼불화붕소-11(¹¹BF₃), CAS 번호 20654-88-0

¹¹BF₃ ¹¹B는 반도체 이온 주입에 있어 가장 중요한 p형 도핑 가스 중 하나입니다. ¹¹B는 중성자 흡수율이 거의 0에 가까워 주입 과정에서 정밀한 도핑 제어가 가능하며, 반도체 부품의 전도도와 방사선 내성을 향상시킵니다. 주요 불순물 사양: ¹¹B 농축도 ≥99.9%, 순도 ≥99.999%, N₂ ≤15 ppmv, O₂/Ar ≤15 ppmv, CO₂ ≤15 ppmv, SO₂ ≤15 ppmv, HF ≤15 ppmv, SiF₄ ≤15 ppmv.

보론허브의 ¹¹BF₃는 고객 맞춤형 순도 및 농축 등급으로 고순도 강철 실린더에 충전됩니다. 모든 생산 설비는 전량 국내에서 제조되어 독자적인 기술과 안정적이고 안전한 공급망을 제공합니다.

농축 삼불화붕소-11(¹¹BF₃)의 기업 사양

¹¹B 동위원소 존재비: ≥99.9% 순도: ≥99.999%

불순물 한계치(단위: ppmv): N₂ ≤15, O₂/Ar ≤15, CO₂ ≤15, SO₂ ≤15, HF ≤15, SiF₄ ≤15

포장

강철 실린더에 담아 공급됩니다 (실린더 사양 및 포장 정보는 당사 영업 담당자에게 문의하십시오).

참고: 순도, 동위원소 존재비 및 포장 사양은 요청 시 맞춤 제작이 가능합니다.

응용 분야는 무엇인가요? 농축 삼불화붕소-11(¹¹BF₃)?

*반도체 제조: 고급 칩, 디스플레이 패널 및 기타 반도체 제품에 사용되는 핵심 전자 특수 가스

 

*태양광 산업: 태양 전지 생산을 위한 도핑 공정

 

*화학 및 첨단 소재: 다이보란, 삼염화붕소 및 기타 화학 원료 합성, 광섬유 프리폼 제조

 

의 상세 기능은 무엇인가요?농축 삼불화붕소-11(¹¹BF₃)?

이온 주입용 P형 도펀트

반도체 이온 주입에 있어 가장 중요한 p형 도핑 가스인 이 가스는 3nm 이하의 첨단 노드 칩 제조에 사용됩니다. 메모리 비트 플리핑 현상을 효과적으로 억제하고 칩의 방사선 내성 및 작동 신뢰성을 크게 향상시킵니다.

확산 및 산화 과정

이 기술은 도핑, 산화 확산, 플라즈마 에칭 및 실리콘/게르마늄 에피택셜 성장을 포함한 여러 반도체 제조 단계에 적용됩니다.

 

칩 수율 및 성능 향상

고농축, 고순도 ¹¹BF₃는 고급 칩 제조에 필수적인 특수 가스입니다. 동위원소 존재비와 화학적 순도는 웨이퍼 수율과 완성된 칩의 성능을 직접적으로 결정합니다.

에칭 공정

초고순도 ¹¹BF₃는 에칭 선택성과 공정 균일성을 향상시킵니다.