순도 99.999% 이상의 농축 삼불화붕소-11(¹¹BF₃)

농축 삼불화붕소-11(¹¹BF₃)은 고농축 ¹¹B 원료로부터 제조되는 특수 전자 가스로, ¹¹B 농축도가 99.9% 이상이고 순도가 99.999% 이상입니다. 필수적인 p형 이온 주입 도핑 가스로서, 첨단 노드 반도체 칩 및 디스플레이 패널 제조에 없어서는 안 될 재료입니다.