동위원소 ¹¹B를 P형 도펀트로 사용

¹¹B는 붕소의 두 번째 안정 동위원소로 자연 존재비는 약 80.22%입니다. 열중성자 흡수 단면적이 거의 없어 반도체 이온 주입 공정에서 대체 불가능한 핵심 소재입니다. 당사의 고순도, 농축도 조절 가능 등급의 ¹¹B는 칩 제조, 디스플레이 패널 및 기타 반도체 분야에 널리 사용되고 있습니다.